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石英晶體是離子型的晶體,由于結(jié)晶點陣的有規(guī)則分布,當發(fā)生拉伸或壓縮時能產(chǎn)生電極化現(xiàn)象,稱為壓電現(xiàn)象。石英晶體壓電效應的固有頻率不僅取決于其幾何尺寸,切割類型,而且還取決于芯片的厚度。當芯片上鍍了某種膜層,使芯片的厚度增大,則芯片的固有頻率會相應的衰減。膜厚監(jiān)控儀就是通過測量頻率或與頻率有關的參量的變化而監(jiān)控淀積薄膜的厚度。
膜厚監(jiān)控儀(FTM)是如何工作的呢?鍍膜時,膜厚監(jiān)控儀里面的晶振片的高速振動,測試每秒鐘振動次數(shù)的改變,從所接受的數(shù)據(jù)中計算膜層的厚度。
儀器參數(shù):
儀器尺寸 |
300mm (W) x 150mm (D) x 75mm (H) |
重量 |
6Kg |
可配套儀器 |
EMS 450, EMS 550, EMS 575, EMS 650, |
晶片座 |
置晶片裝置 |
密度范圍 |
1.55 to 23.0g/cm-3 |
測控范圍 |
5 to 999nm |
鍍碳時精度 |
0.8nm |
鍍金時精度 |
0.1nm |
電源 |
230V 50 Hz (3 Amp Max) |
訂購信息;
貨號 |
產(chǎn)品名稱 |
規(guī)格 |
91006 |
EMS 150 Film Thickness Monitor complete with terminate unit including crystal holder and fitted crystal. Standalone. |
臺 |
91006-M |
EMS 150 Film Thickness Monitor Built-in Module |
臺 |
91008 |
Spare Crystals |
盒 |
91009 |
Spare Glass Cylinder |
個 |
電話 010-52571502 010-51248120 郵箱 hedebio@163.com |
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